一、光学干涉计量的基本理论

干涉现象

当两束或多束相干光相遇时会产生干涉图案，这种现象可用于极精密的距离或厚度测量。

激光干涉仪

激光干涉仪利用单频激光源发出的光束经过分束后再次合并形成的干涉条纹来进行测量。

二、光学干涉计量的技术进步

白光干涉仪

白光干涉仪克服了传统激光干涉仪仅能在特定条件下工作的局限性，扩大了适用范围。

光纤干涉仪

光纤干涉仪结合了光纤通信的优点，使得远程、分布式传感成为可能。

三、光学干涉计量的应用领域

半导体制造

半导体芯片生产过程中，层间厚度的均匀性要求达到纳米级别，光学干涉计量提供了理想的解决方案。

精密机械加工

表面平整度和平行度的检验对于高性能机械设备至关重要。

光学元件检测

镜头、棱镜等光学组件的曲率半径和表面质量评估依赖于高分辨率的干涉测量技术。