一、引言

激光干涉测量技术因其非接触、高分辨率、高稳定性的特点，在超精密加工、光学检测、半导体制造等领域占据重要地位。该技术利用光的干涉现象进行长度、角度、形貌等参数的高精度测量。本文将探讨其基本原理及工程实践。

二、关键技术类型

迈克尔逊干涉仪

广泛用于长度测量，分辨率达纳米级别。

斐索干涉仪

用于平面或球面光学元件表面质量评估。

共路干涉系统

抗环境干扰能力强，适用于动态测量场景。

数字全息干涉

结合CCD相机与图像处理算法，实现三维形貌重建。

三、典型应用场景

数控机床定位精度校准

实时反馈刀具位置误差，提升加工重复性。

晶圆切割与封装工艺监控

测量微米级位移变化，确保芯片良率。

光学镜片与镜头组装配

检测曲面偏差与波前畸变，优化成像性能。

四、未来发展趋势

智能化与在线测量融合

集成AI算法进行误差预测与补偿，实现闭环控制。

便携式激光干涉仪开发

满足现场快速校准需求，拓展工业服务市场。