一、引言

数字全息显微术（Digital Holographic Microscopy, DHM）是一种结合光学干涉与数字图像处理的新型显微测量技术，能够在无接触条件下实现纳米级分辨率的三维表面形貌重建。该技术广泛应用于生物细胞观测、微机电系统（MEMS）、纳米制造等领域。

二、核心技术原理

全息图像记录与再现

利用CCD/CMOS记录干涉图样，通过数值衍射算法重建物体波前。

相位解包裹与高度映射

将相位信息转换为高度分布，构建三维地形图。

多波长与白光干涉融合技术

扩展测量范围，避免相位模糊问题。

动态过程捕捉与时间序列分析

实现活细胞、微结构动态行为的全场测量。

三、典型应用场景

MEMS器件表面粗糙度测量

评估微加工质量与性能一致性。

生物细胞形态学研究

观察红细胞、癌细胞等的三维结构变化。

半导体晶圆缺陷检测

快速识别划痕、颗粒、凹坑等微观缺陷。

四、未来发展方向

高速实时全息显微系统

推动千帧以上成像与动态测量。

AI辅助图像重建与语义分割

提升图像质量与自动化分析能力。